• 精度不够?PLR3000光纤激光尺:0.2ppm

    PLR3000系列光纤激光尺基于激光干涉测量原理,具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,同时具有安装快捷,易于准直等特点,在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术等高科技领域广泛应用。
    光纤激光尺比传统光栅精度高10倍,分辨率达原子层级(10nm=100个原子直径!)     PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证:用差分干涉(DI)探头对高精度纳米位移台进行闭环控制,在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。
  • 2025年06月30日 17时50分来自  网友交流
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