共聚焦显微镜大倾角超清纳米三维显微成像共聚焦显微 ... - szzhongtu5的微博- 研发门户自媒体(zmt.techaird.com)自媒体

共聚焦显微镜大倾角超清纳米三维显微成像

共聚焦显微镜最大的特点是在成像时只获取来自样品的一个薄层，而剩余的光信号被消除，从而消除了深度模糊现象，获得了超高的空间分辨率。这一特性使共聚焦显微镜对大坡度的产品有更好的成像效果，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。高度显示分辨率达到0.5nm，具有很强的纵向深度的分辨能力。如在光伏行业中，不仅可以对栅线进行快速检测，还可以对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。