• 台阶仪测量晶圆表面光刻胶粗糙度案例
    在半导体行业中,晶圆表面的粗糙度,尤其当晶圆表面被氧化后,引起氧化层的透光性,此时采用台阶仪能够获取准确有效的数值。
  • 2023年12月28日 15时54分来自 研发门户自媒体
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