szzhongtu5： 台阶仪测量晶圆表面光刻胶粗糙度案例
在半导体行业中，晶圆表面的粗糙度，尤其当晶圆表面被氧化后，引起氧化层的透光性，此时采用台阶仪能够获取准确有效的数值。